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工業資材
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高温真空チャンバー内部監視用カメラ
AI市場の賑わいにより需要が急騰している先端パッケージングのプロセスに向けた、高温真空チャンバー内部監視用カメラです。
台湾に拠点する大手半導体メーカーの製造プロセス装置に、300台以上の実績がございます。
特徴
真空環境・高温環境の遠隔監視でDX化
耐熱400℃および耐圧15kg/㎠までの高温・真空環境下で使用可能な、高温真空対応カメラです。
高温・真空条件が求められる半導体製造装置内でも、安定した監視・観察性能を発揮します。
多様な冷却方式に対応した循環冷却設計
循環冷却系には、CDA（クリーンドライエア）、冷却水、冷媒液による冷却方式を採用可能です。設置環境や運用条件に応じて最適な冷却方法を選択でき、効率的な温度管理を行います。
冷却機能は複数の中から選定できる耐熱カメラで、高温環境下でも安定した映像監視を実現します。
- 水冷・冷却水
- CDA
- 冷媒
- 空冷 ※温度帯が比較的低い場合に、空冷を選定します。
一般的にカメラのサイズが小さい機構ほど冷却しづらくなるため、設置にはスペースの確保が必要になると言われていますが。
本製品は特殊ケーシングの採用により、400℃の耐熱性能を有した高温真空チャンバー向けカメラです。
排気・排水・排液を工場一次側へ安全に排出
排気・排水・排液については、工場一次側への排出設計に対応しています。
設備全体の安全性やメンテナンス性を考慮し、安定した運用環境の構築に貢献します。
半導体プロセスの想定用途
先端パッケージングメーカーのプロセス装置に向け、300台以上の実績がございます。
- ウエハの貼り合わせ工程における脱気確認(気泡/ボイド有無)
- プラズマエッジングの加工プロセスにおける終点検出(エンドポイント)
製品仕様
画像
| イメージセンサー | Sony Starvis 2.07 メガピクセルイメージセンサー |
|---|---|
| サイズ/スキャン方式 | 1/2.8インチ プログレッシブスキャン |
| 総画素数 | 1945(H) x 1109(V)、2.16メガピクセル |
| 有効画素数 | 1945(H)x 1097(V)、2.13メガピクセル |
カメラウェブコントロール
| 露出 | 自動(1/30~1/30000)、（ANTI-SAT_ON / AE スピード） AGC (0~10) Sens-up(OFF.x2.x4.x8.x16.x32) |
|---|---|
| 低照度 | 0.05Lux/Sen-up :0.005Lux |
| デイ＆ナイト | AUTO/AUTO-Ext/PRESET/MANUAL |
| 逆光補正 | HLC/BLC |
| DNR | 2DNR、3DNR-HDR |
| 出力設定 | シャープネス/デフォグ/シェーディング/プライバシーガンマ/ミラー/フリップ |
| ホワイトバランス | 自動（屋内）/自動（屋外）/プッシュ/ ユーザー |
| 画像調整 | Real WDR ( 15fpsWDRをオン/WDRをオフ ) 3DNRレベル（LOW/MIDDLE/HIGH） |
| システム | 表示言語切り替え |
レンズ
| 焦点距離 | 3.6mm±5% |
|---|---|
| F.O.V | 水平視野87.6°×垂直視野46.4°×深度104.5° |
システム
| OS | 組込みLinux |
|---|
ネットワーク
| インターフェース | RJ45 10/100 Base-T PoE |
|---|---|
| プロトコル | TCP/IP, UDP/IP, DHCP, AUTO IP, JGMP, ICMP, HTTP, UPnP, FTP, SMTP, SNTP, DNX, RTSP,RTMP |
| Onvif | 最新 |
| 同時アクセス | 最大4ユーザー |
| 圧縮形式 | H.264/MJPEG |
| 解像度 | 1920x1080(フルHD)/1920x720(HD) 800x600(SVGA)/640x480(VGA)/320x240 (QVGA) |
| 最大フレームレート | H.264 1080p@30fps+VGA@30fps |
| ビデオストリーミング | 同時にH.264 とMJPEG 独立したフレームレートと帯域幅制御、可変/ 固定ビットレートモード |
| クライアントソフトウェア | ビルトインWeb、ONVIF(gSOAP、profile S:Spec2.4) |
| SDカード | SDIO3.0 |
製造メーカー Mitsuli Technologyについて
特殊環境向けの監視・画像処理システムを提供する専門企業で、台湾に拠点を置いています。
半導体業界、金属業界、ガラス業界、セメント業界、発電業界といった、幅広い産業分野で採用されています。
オーダーメイド・スピード修理に強い
かつては欧州から防爆製品を輸入する代理店の立ち位置でしたが、自社でリバースエンジニアリングを行って内製化を整えていきました。
代表の方は設計開発ご出身でシステム統合の経験値が高く、自社の製品に使うパーツはほとんど内製化されております。
要は、オーダーメイドに対応できる自由度が大きく、故障時の修理を迅速に対応できる企業と言えます。一方で競合の海外メーカーでは、修理の際に、輸送タイムラグを要します。
ネットワーク構築の専門性を活かして、伝統的な監視システムの欠点をAIで克服した監視分野が強みです。
台湾の防衛省に評価された実績
日本でいうところの防衛省に当たる、台湾の国防部が監督する兵器開発・軍事技術の研究機関より、防爆・耐高温・高圧容器の唯一の認定業者として、選出されています。
台湾で開発するミサイル燃料撹拌中の爆発事故が多発しましたが、Mitsuli Technologyが開発したシステムパッケージ（高温・高圧容器＋監視＋画像判定＋自動消火）により、殉職者の人数を劇的に減少させました。
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